[반도체] 정품 식각장비 소모부품에서도 간접침해가 인정된 이유

특허법원 FLEX 스터드·소켓 사건에서 완성 클램프의 캠샤프트가 없는 교체부품에 간접침해와 34억 원 손해배상이 인정된 이유를 분석하고, INTLAW 반도체 협력사 기술보호 경험과 납품 전 점검을 연결합니다.

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핵심 요약정품 반도체 장비와 호환되는 교체부품이라고 해서 특허침해 위험이 사라지는 것은 아닙니다. FLEX 클램프 판결에서 법원은 캠샤프트가 빠진 소모부품에도 간접침해를 인정했습니다.
정품 식각장비를 구매한 반도체 제조사가 마모된 소모부품을 교체하려고 합니다. 부품 공급사는 기존 장비와 맞는 규격으로 스터드와 소켓을 제작해 납품합니다. 정품 장비를 이미 구매한 고객에게 공급하는 교체품이라면 특허 문제는 없을까요?
부품을 판매하는 기업에서는 이 질문을 제품 개발과 납품계약 전에 확인해야 합니다. 완성장비의 특허 청구항을 모두 갖춘 부품이 아니더라도 간접침해가 문제될 수 있고, 교체가 허용되는 수리인지 새로운 생산인지에 따라서도 결론이 달라질 수 있기 때문입니다.
1. 무엇을 교체한 사건이었을까요?
특허법원 2024년 2월 15일 선고 2023나10204 판결의 대상은 미국 장비회사의 FLEX 플라즈마 식각장비용 스터드·소켓 어셈블리였습니다. 국내 부품기업이 이를 제조·판매하면서 제품 소개에 해당 장비의 시리즈명을 사용했습니다. 원고는 특허침해금지, 부품과 금형 폐기 및 손해배상을 청구했습니다.
관련 기술은 한국 등록특허 KR101708060B1 「캠 고정 전극 클램프」입니다. 완성 장치는 소모성 전극(201), 백킹 플레이트(203), 스터드(205), 편심 캠샤프트(207), 소켓(213), 디스크 스프링 스택(215)으로 구성됩니다. 캠을 회전해 스터드 헤드와 결합시키고 전극과 백킹 플레이트를 당겨 고정하는 구조입니다.
KR101708060B1 · 도 2a백킹 플레이트(203) 안의 캠샤프트(207)가 스터드(205)를 고정하고, 소켓(213) 안의 디스크 스프링 스택(215)이 압착력을 유지하는 전체 결합구조입니다. 원공보 보기
이 체결구조는 단순한 나사 고정이 아닙니다. 플라즈마 공정 중 전극과 백킹 플레이트 사이의 접촉·열전달을 유지하면서 서로 다른 열팽창으로 발생하는 움직임을 허용하는 데 의미가 있습니다. 디스크 스프링의 탄성력, 소켓의 접촉면, 캠 회전 전후의 스터드 운동이 함께 작동합니다. 교체부품의 외형뿐 아니라 완성장치에서 수행하는 기능을 보는 이유입니다.
2. 캠샤프트가 없는데도 왜 침해가 됐을까요?
등록특허 청구항 1은 디스크 스프링 스택·스터드·소켓·캠샤프트가 포함된 완성 클램프에 관한 물건항입니다. 피고가 판매한 부품에는 그중 캠샤프트가 없었습니다. 법원 역시 피고 부품에 완성 장치의 모든 구성이 존재한다고 보지는 않았습니다. 다만 여기서 검토가 끝나는 것은 아닙니다.
KR101708060B1 · 도 3스터드(205), 디스크 스프링 스택(215), 소켓(213)을 분리한 그림입니다. 실제 피고 제품은 완성 클램프에 필요한 캠샤프트를 포함하지 않았으나 법원은 이 조립체의 핵심 기능을 살폈습니다. 원공보 보기
현행 특허법 제127조 제1호는 물건발명의 생산에만 사용하는 물건을 업으로서 제조·양도하는 등의 행위를 일정 요건에서 침해로 봅니다. 핵심은 단품 자체에 모든 청구요소가 있는지가 아니라, 그 부품이 특허 물건을 생산하는 데 전용되는지입니다. 대법원 2007후3356 판결도 이론적 사용가능성과 사회통념상 인정될 실질적인 상업적 용도를 구별합니다.
FLEX 사건에서 법원은 스터드·소켓·디스크 스프링 스택이 완성 클램프의 핵심적이고 본질적인 구성이고, 피고가 공급하는 제품의 다른 실용적 용도가 인정되지 않는다는 점을 중시했습니다. 무엇보다 피고 제품의 판매자료에 적용장비가 FLEX 45·D·E·F·G 시리즈로 표시됐습니다. 호환장비를 홍보하기 위한 문구가 전용성 판단의 증거가 됐습니다.
KR101708060B1 · 도 4a캠샤프트(207)의 편심 컷아웃과 베어링(209), 키잉핀(401)입니다. 교체부품에 이 캠샤프트가 없더라도 그 부품이 결합될 완성장비의 용도와 작동관계를 따져야 합니다. 원공보 보기
법원은 결국 청구항 1과 이를 인용하며 소켓의 외부 스레

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