전문분야 / 반도체 장비·소재
반도체 장비·공정의 차이를 이해하고,
보호할 핵심기술을 찾습니다
장비 구조·공정 순서·부품·재료가 제품 성능과 제조조건에 어떻게 연결되는지 분석합니다. 그 결과를 바탕으로 보호할 핵심기술과 경쟁특허 대응, 후속 개발 방향을 검토합니다.
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반도체 장비·소재
장비 성능과 공정의 차이를 만드는 기술부터 살펴봅니다.
01
성능과 공정의 차이는 어디에서 생기는가
장비 구조·공정 순서·부품·재료가 제품 성능과 생산성에 미치는 영향을 살펴, 차이를 만드는 기술과 유지해야 할 제조조건을 구분합니다.
02
경쟁특허와 무엇이 겹치고, 어디를 바꿀 수 있는가
경쟁특허의 청구항과 실제 장비·공정·부품·재료를 대조합니다. 성능과 제조조건을 고려해 변경 가능한 부분을 검토합니다.
03
현재 기술과 다음 개발에서 무엇을 보호할 것인가
현재 기술의 차별 요소와 후속 연구개발 후보를 구분하고, 지금 보호할 기술과 추가 개발 뒤 보호할 기술을 나눕니다.
실제 프로젝트에서는 이렇게 이어졌습니다
반도체 장비 기업 A사 — 문제특허를 설계변경과 신규 권리 후보로 연결했습니다.
다수의 경쟁특허를 검토해 실제 대응이 필요한 권리를 가려낸 뒤, 무효자료와 구조 변경 가능성을 함께 검토했습니다. 성능과 제조 가능성을 고려한 대안에서 다시 보호할 기술 후보를 도출했습니다.
반도체 부품 기업 B사 — 박막·재료와 생산조건을 함께 비교했습니다.
광학 필터의 적층·재료 관계를 경쟁특허와 대조하고, 기업의 제조조건과 생산성을 함께 놓고 비대응·설계 변경·무효 대응의 선택지를 검토했습니다.
반도체 소재·공정 기업 C사 — 공정의 차이를 제품 권리로 남길 방법을 검토했습니다.
기판 제조공정의 차별 요소를 확인한 뒤 내부 공정만이 아니라 외부에서 확인 가능한 제품·장치 구성으로 보호할 수 있는 대안을 함께 검토했습니다.
다뤄온 기술·제품
반도체 열처리 장비 · 청정·공조 모듈
열처리 장비의 구조와 모듈, 유로·제어 관계부터 공정환경을 만드는 청정·공조 구성까지 다뤄왔습니다.
광학 필터·박막 · 기판 제조공정
박막의 적층·재료 관계와 광학 성능, 기판 제조공정의 차별 요소와 제품구조의 권리화 가능성을 검토해 왔습니다.
공정가스 측정 · 측정·검사 기술
반도체 검사장비에 들어갈 광학계 부품을 공급하기 전에는 어떤 특허 위험을 점검해야 할까요? 공정가스 측정 원리와 광학 구성, 측정·검사 장비의 구조와 개발대안을 경쟁기술·특허와 함께 검토해 왔습니다.
반도체 기업이 마주하는 세 가지 선택
설계를 바꾸면 장비 성능이 떨어진다면?
01열처리 장비기업이 경쟁사의 가열구조 특허를 발견했습니다. 가열부를 바꾸면 온도 균일성이 흔들릴 수 있습니다. IntLaw는 특허의 청구항을 장비 도면과 대조해 실제로 겹치는 구성을 확인합니다. 핵심 성능을 좌우하는 가열부는 권리범위와 기존 공개기술을 검토해 비침해·무효 대응 가능성을 따지고, 변경 여지가 있는 이송방식·센서 배치는 회피설계안을 비교합니다. 핵심 성능은 지키면서 무엇을 법률적으로 다투고 무엇을 설계로 바꿀지 구분합니다.
제조기술을 특허로 공개해야 할까요?
02반도체 소재기업이 새로운 박막 제조공정을 개발했습니다. 특허를 내면 제조조건이 알려질까 우려합니다. IntLaw는 완제품 분석으로 확인할 수 있는 적층구조·재료 특성과 외부에서 알기 어려운 온도·시간 등 공정조건을 구분합니다. 제품에서 드러나는 기술은 특허 보호를, 내부 제조조건은 영업비밀 관리를 검토하고, 공개 범위와 경쟁사의 모방 가능성을 함께 따집니다.
조금만 바꿔도 피할 수 있는 특허라면?
03반도체 장비기업이 미세입자를 줄이는 구조를 개발했습니다. 특정 부품의 모양만 특허로 내면 경쟁사가 쉽게 우회할 수 있습니다. IntLaw는 입자 감소가 부품 자체의 형상 때문인지, 공기 흐름과 부품 배치의 관계에서 생기는지 구분합니다. 보호할 핵심 원리와 가능한 변형구조를 명세서에 담고, 넓은 청구항과 구체적인 보조 청구항을 함께 설계합니다.
반복 수행과 외부검증
반도체 장비·공정·소재를 한 과제에 그치지 않고 반복해 다뤄왔습니다
SK하이닉스 협력사 기술보호 컨설팅
SK하이닉스 협력사를 대상으로 기술보호 컨설팅을 수행했습니다. 장비·부품의 실제 기술구성과 경쟁특허를 대조해 보호할 기술과 특허 위험을 검토했습니다. 열처리 장비, 광학 박막, 기판 공정, 공정가스 측정, 청정·공조 모듈, 측정·검사 기술 등 서로 다른 제품과 과제에서 경쟁기술과 특허를 반복해 검토했습니다.
IntLaw의 IP-R&D 수행체계
2025년 산업재산진단기관 IP-R&D 수행평가에서 전국 264개 기관 중 1위로 선정돼 지식재산처장상을 받았습니다.
상장·시상 사진으로 외부검증 보기 →사건별 팀 구성
장비·공정·소재의 문제에 맞춰 전문성을 모읍니다
기술구조에 따라
장비·공정·소재·전자·측정처럼 실제 제품을 이루는 기술에 맞춰 필요한 변리사가 함께 봅니다.
쟁점에 따라
권리범위·심사이력, FTO, 무효 검토, 설계변경, 후속 권리화 중 사건에 필요한 과업을 확인해 담당 변리사를 구성합니다.
전문가 전체 보기 →반도체 장비·소재 상담
경쟁특허가 보이거나 설계를 바꿔야 한다면,
실제로 가능한 선택부터 함께 보겠습니다
제품·장비 구조, 공정조건, 현재 설계안과 문제 특허 또는 경쟁사 자료가 있다면 그 자료에서 시작하면 됩니다. 필요한 검토범위부터 정합니다.
장비 성능과 제조조건을 지키면서 어떤 특허 판단이 먼저 필요한지 살펴보세요.
자주 묻는 질문
장비 시제품을 만든 뒤 경쟁사 특허를 발견했습니다. 설계를 처음부터 바꿔야 하나요?
바로 전체 설계를 바꾸기보다 발견한 특허가 실제 장비의 어떤 구성에 적용될 수 있는지부터 확인해야 합니다. 특허의 권리상태와 보호범위를 따져 문제가 되는 부분을 좁힌 뒤, 설계를 유지할 근거가 있는지 또는 일부 변경이나 라이선스가 필요한지 비교합니다. 납품 일정과 장비 성능에 미치는 영향도 함께 판단해야 합니다.
특허를 피하도록 장비 구조를 바꾸면 성능이나 수율이 떨어질 수 있는데 어떻게 하나요?
특허를 피하더라도 고객사가 요구하는 성능을 잃는다면 좋은 대안이 아닙니다. 온도 균일성·정밀도·처리량 등 반드시 지켜야 할 조건을 먼저 정하고, 그 조건을 유지하면서 변경 가능한 부품과 제어방식을 좁혀야 합니다. 후보별로 특허 위험을 다시 살피고 시험·양산 가능성까지 확인한 뒤 설계변경 여부를 결정하는 것이 좋습니다.
경쟁사 특허의 일부 부품만 다르게 만들면 침해를 피할 수 있나요?
부품 하나의 모양이나 이름을 바꿨다는 사실만으로 침해를 피했다고 판단할 수는 없습니다. 상대 특허가 실제로 보호하는 구성과 변경한 장비를 비교해야 하며, 표현상 달라 보여도 실질적으로 같은 기술로 평가될 수 있는지도 검토해야 합니다. 어느 구성의 변경이 권리범위에서 의미 있는 차이를 만드는지가 핵심입니다.
새로운 박막·소재 제조공정은 특허로 낼까요, 영업비밀로 지킬까요?
완제품을 분석하면 드러나는 적층·재료의 차이인지, 외부에서는 알기 어려운 내부 제조조건인지 먼저 구분하는 것이 좋습니다. 기술을 공개하고 권리를 확보하는 편이 유리한 경우도 있고, 공정조건을 장기간 비밀로 관리하는 편이 나을 수도 있습니다. 모방 가능성, 특허 침해를 입증할 방법, 실제 비밀관리 수준을 함께 비교해야 합니다.
국내 장비를 해외 고객사에 납품할 때 어느 나라 특허를 검토해야 하나요?
장비를 제조하는 곳뿐 아니라 수입·판매·설치·사용하는 국가도 살펴야 합니다. 같은 장비라도 국가마다 효력이 있는 경쟁특허가 다르므로, 실제 납품 구조와 거래일정을 먼저 확인한 뒤 국가별 조사 우선순위를 정하는 것이 효율적입니다. 한국 등록특허를 보유했다는 사실만으로 해외 납품의 특허 위험이 해소되지는 않습니다.
장비를 개선하는 과정에서 나온 설계변경안도 새 특허가 될 수 있나요?
가능합니다. 다만 경쟁사 특허를 피했다는 사실만으로 새로운 특허를 받을 수 있는 것은 아닙니다. 변경한 장비의 기술적 차이가 기존 공개기술과 구별되고 특허요건을 충족하는지 확인해야 합니다. 그 기술이 다음 세대 장비의 성능이나 제조경쟁력에도 도움이 되는지 따져 출원 우선순위를 결정할 수 있습니다.